近日從中國建筑材料科學研究總院（以下簡稱建材總院）獲悉，基于光刻用石英玻璃基板（以下簡稱石英玻璃基板）綠色制造技術，建材總院石英院在衢州建立了國內首條從基板原材料制造到產品加工的成套生產線，該生產線可年產20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產品長期依賴進口的局面。
該生產線的建立，是建材總院承擔的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關鍵技術研發(fā)及示范”課題的成果之一。
石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件，市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有熱穩(wěn)定性好、光學均勻性高、耐輻照等諸多優(yōu)點。然而，受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約，我國石英玻璃基板長期依賴進口。
作為我國唯一專業(yè)從事石英玻璃研究的科研院所，建材總院石英院科研人員經不懈努力，形成一套符合我國行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢的獨有工藝路線，不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題，同時實現(xiàn)了原材料綠色制造；引入多刀切割、安全快速磨拋工藝，創(chuàng)造性地開發(fā)了熔拉制坯、數(shù)控倒角等技術，解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產品加工，該院形成專利20余項，行業(yè)標準、國軍標及國家標準10余項，開發(fā)出了多種規(guī)格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產品，不僅逐步替代進口，而且出口歐洲、日本等國。
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